石材雕刻和石材雕塑等年代久遠(yuǎn)的高檔石質(zhì)藝術(shù)品，由于其極精細(xì)和易損的表面結(jié)構(gòu)，成為激光清洗技術(shù)應(yīng)用最早的領(lǐng)域。人們發(fā)現(xiàn)，用激光清除石質(zhì)文物表面的污垢有其獨(dú)特的優(yōu)勢，它能夠十分清確地控制光束在復(fù)雜的表面上移動(dòng)，清除污垢而不損傷文物石材。例如，1992年9月，聯(lián)合國教材文組織的世界文化遺產(chǎn)保護(hù)組織為紀(jì)念該組織創(chuàng)建20周年，對十分著名的英國亞眠大教堂進(jìn)行了維修，亞眠大教堂西側(cè)圣母門十分精美的大理石雕刻是工程的關(guān)鍵。在為期一年的圣母門維修工程中，維修人員借助于激光，用激光光束除去了覆蓋在大理石雕刻花紋上幾毫米厚的黑色垢層，大理石表面原來的色澤體現(xiàn)出來，使精美的雕刻重現(xiàn)光彩。又如，英國最重要的石雕收藏處之一的英斯布倫蒂爾的石雕收藏品經(jīng)激光清洗后，也得到同樣的效果。圖1為奧地利的文物保護(hù)工作者用帶有關(guān)節(jié)臂的YAG激光對14世紀(jì)中葉的St.Stephen大教堂上的石雕進(jìn)行石材清洗。

        人們用電子顯微鏡觀察激光清洗后的石雕表面，發(fā)現(xiàn)激光清洗后石頭的結(jié)構(gòu)沒有變化，被清洗的表面既光滑又平坦，沒有損傷。這跟用微粒子噴射法（噴砂法）清洗后的表面完全不同。微粒子噴射法清洗后大理石表面結(jié)構(gòu)的損傷是難以避免的，特別是對已有硫酸鹽垢層的大理石表面。電子顯微鏡的觀察還發(fā)現(xiàn)，激光照射后，表面下巖石材料的各項(xiàng)性質(zhì)既無退化，也無改變。目前，用激光清洗石灰后，大理石等高檔石質(zhì)材料表面污垢的工作已成為一項(xiàng)新的很有前途的業(yè)務(wù)項(xiàng)目。除了對石質(zhì)材料的清洗外，激光清洗在玻璃、石英、金屬、模具、牙齒、芯片、電極、磁頭、磁盤以及各種微電子產(chǎn)品的清洗中都有很好的效果，已經(jīng)有了一定的應(yīng)用。